Semiconductor Quartz
半導体製造を支える高精度石英部品
TOCHANCEは、高純度石英材料と高精度加工技術を融合し、半導体製造装置向けの石英部品を提供しています。リング、ベルジャー、チャンバー、ノズル、ボートなど、多様な部品の試作から量産まで対応し、安定した品質と信頼性でお客様の製造プロセスを支えます。
半導体向け石英製品
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石英リング
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12インチ石英ボート（360 × 170 × 210 mm）
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石英微細穴加工プレート
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大型20インチ石英ボート（Quartz Boat）
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石英ガラストラフ
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石英ねじ加工品（φ10 × φ19.25 × L185.2 mm）
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石英加工品（170.25 × 250.3 mm）
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石英プレート加工品（439 × 251 × t15 mm、最大深穴 251 mm）
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石英ガスノズル
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石英穴加工プレート（59 × 39 × t10 mm）
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石英微細穴加工プレート（六面加工・最小穴径 φ0.3 mm）
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石英瓦片 308x69x3mm
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石英曲面プレート（308 × 69 × t3 mm）
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石英加工リング（φ152 × φ30 × t29 mm）
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石英フォーク（322.8 × 237 × t6.2 mm）
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石英リング（φ467.85 × φ364.65 × t19.78 mm）
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石英加工リング（φ290 × φ196.4 × t16.05 mm）
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石英リング（φ206 × φ160 × t5 mm）
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石英ヒーター（146 × 152 × 382 mm）
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石英微細穴加工品（最小穴径 φ0.4 mm）
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石英ボート（360 × 170 × 210 mm）
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石英ガスノズル
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ジャイロスコープ（Quartz Gyroscope）
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ジャイロスコープ用部品
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多数穴加工石英円板
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大型20インチ石英ボート（Quartz Boat）
Specifications
製品仕様
INSULATER RING
TOP RING
COVER RING
INSERT RING
SHIELD RING
PEDESTAL RING
EDGE RING
FOCUS RING
SPACE RING
SHADOW RING
18インチ-24インチの手動及び自動アライメンウェハーボート
単、複層の石英洗浄槽 Quartz Tank max = 750mm x 400mm x 400mm
LIFT PIN
GUIDE PIN
QUARTZ FIN PEDESTAL
QUARTZ TORCH CHAMBER
QUARTZ MANIFOLD COVER
QUARTZ CAP COVER
QUARTZ PROCESS TUBE
BURNING TUBE
GAS INJECTOR
EXHAUST TUBING
DUST TRAY
QUARTZ DISK
HPQ WINDOW
HOLDER
SHEATH
技術的な課題、
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精密加工の専門家が、お客様の仕様に合わせた最適な素材選定と設計をご提案いたします。小ロットの試作から量産まで、お気軽にご相談ください。