Semiconductor Ceramics

半導体用セラミックス

TOCHANCEは、高純度アルミナやジルコニアなどのファインセラミックス材料と高精度加工技術を融合し、半導体製造装置向けの精密セラミックス部品を提供しています。優れた耐熱性・耐摩耗性・電気絶縁性を備え、過酷な製造環境でも安定した性能を発揮します。

セラミックス部品

  • 半導体セラミックス

  • セラミックガスインジェクター

  • ベルヌーイアーム

  • 高精度セラミックウエハ搬送アーム

  • ジルコニア加工品

  • カスタム磁気式搬送アーム

  • LID Liner

  • Middle Liner

  • Isolator Ring

  • Carrier Ring

Specifications

製品仕様

トップ・リングインシュレーター・リングカバーリングセラミック・インジェクターウェーハ搬送アーム耐プラズマリング耐プラズマドームウェーハ研磨リング静電チャック（ESC）ガスノズル大型セラミックス部品

インシュレーター・リングトップ・リングカバー・リングインサート・リングシールド・リングペデスタルリングエッジ・リングフォーカス・リングスペーサー。リングシャドー。リング

18～24インチ対応 手動・自動アライメントウェハーボート
単、複層の石英洗浄槽 Quartz Tank max = 750mm x 400mm x 400mm

リフト・ピン
ガイド・ピン
石英フィン・ペデスタル
石英トーチ・チャンバー
石英マニホールド・カバー
石英キャップ・カバー
石英プロセス・チューブ
燃焼管
ガス・インジェクター
排気チューブ
ダスト・トレイ
石英ディスク
HPQウィンドウ
ホルダー
シース

Heater流体加熱器 / Heater流体ヒーター

技術的な課題、
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精密加工の専門家が、お客様の仕様に合わせた最適な素材選定と設計をご提案いたします。小ロットの試作から量産まで、お気軽にご相談ください。

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