TFT-LCD製造プロセスを支える精密部品
対応技術・加工実績
TFT-LCD製造装置向けに、石英・セラミックスを中心とした精密部品の加工に対応しています。
Array・Cell、露光、UV硬化、熱処理など、各製造プロセスで使用される装置部品について、材料特性や使用環境、要求精度に応じた加工をご提案します。
大型石英部品からセラミックス製の搬送・装置部品まで、大型加工、高精度加工、微細加工、研磨などの技術を組み合わせ、多様な形状・仕様に対応しています。
主な対応製品
- 大型石英基板・石英プレート
- 石英管・装置用石英部品
- 石英ウィンドウ
- UV硬化・熱処理用石英部品
- セラミックスアーム・ハンド
- セラミックス製搬送部品
- セラミックス製装置部品
- 大型・特殊形状部品
カスタム加工対応
図面や装置仕様、使用環境に合わせ、材料選定から加工・研磨・品質検査まで一貫して対応しています。大型サイズや特殊形状、少量試作など、お客様の製造プロセスに合わせたカスタム加工にも柔軟に対応しています。