半導体製造装置向けセラミックス部品
課題｜高温工程における固定安定性 |
| Floating RingとLift Pinが高温工程で破損・脱落し、製造プロセスの安定性に影響していました。 |
改善対応｜金属ガスケットの設計 |
| RingとPinの適合性を見直し、高温時の金属の熱膨張を利用した新しい固定構造を設計。 316金属を採用し、Washer内蔵式（座ぐり加工）により、取り付け性と固定安定性を向上しました。 |
お客様から評価 |
| 改善後、縦方向のずれを0.2 mm以下に抑制。昇温・降温による熱衝撃テストを繰り返し、構造の安定性を確認しました。 上下動作回数も13,000回から16,000回へ向上しました。 |
*事例掲載にあたっては、お客様への事前通知・確認を行い、機密情報については、必要に応じて匿名化・一般化したうえで掲載します。
#TFT-LCD